全球半導體制造離子注入設備供應商列表

半導體行業綜研|Semiconductor industry|

2022-07-12 18:32:55 12

首先，要和大家說聲抱歉：之前我發布的離子注入設備供應商數據里被行業朋友指出不少錯誤，有可能對其他人產生誤導，所以我總結多個來源的反饋，重新整理了這個表格，供大家參考

其實半導體用離子注入設備的應用細分還有很多。比如：

低能大束流里還分重金屬、超低溫和標準等多種機型；

用于SiC器件制造的高溫注入設備其實也分大束流、中束流、高能這幾種；

另外，注入設備在SOI襯底制造中還有注氫注氧等特殊細分應用

這些信息由于過于詳細，我暫時還無法一一細致整理，希望以后有機會梳理后再和大家分享探討

微信圖片_20220712152740.png

注）表內SHELLBACK就是原來的OEM GROUP

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