整整185種！ASML、NIKON、CANON御三家光刻機型號大全

半導體行業綜研|Semiconductor industry|

2024-10-30 15:20:43 972

在所有半導體設備里，光刻機確實是一個最有話題熱度的門類了。我之前從ASML、NIKON、CANON三家的官網上下載收錄了他們目前銷售的光刻機型號，并匯總做成表格供大家參考，讀者反饋不錯。更有行業大佬寫文章時引用我的數據后更是給我的公眾號帶來*巨大流量

當然也有專業做設備貿易的人士提醒我：其實三家在歷史上推出過的光刻機型號遠不止這些。只是因為部分型號過于老舊，原廠已經早已不銷售了，所以官網上也查不到相關信息而已。不過市面上這些設備還在作為二手貨被交易和使用，行業朋友對這些信息也有需求

說者無心，聽者有意。這就激發起了我的好奇心。于是有了進一步收集數據的想法。而恰恰在這個時候，一些行業朋友也主動給我提供了大量的資料 -- 在此特別感謝之前慷慨給我提供信息的行業朋友，人數較多，就不一一具名了

話不多說了，數據奉上。目前收集到的三家供應商機臺型號數量共185種，基本涵蓋市面上絕大多數的三家供應商光刻機型號。麻煩大家在參考的同時也繼續給我提供信息，幫我進一步完善這個數據：

ASML：78種

NIKON：71種

CANON：36種

這個完整表格里其實還有各個設備型號的具體參數指標，比如：焦深、放大倍率、視場尺寸、晶圓尺寸乃至推出市場的年份信息

不過由于版面有限，我只能截取部分信息做成以上簡表供大家參考了

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