量測三件套：線寬、套刻、膜厚全球設備供應商產品全收錄

半導體行業綜研|Semiconductor industry|

2024-09-14 15:10:09 539

今天還是回到我眼前最主要工作的內容上：半導體檢測、量測設備的行業數據收集整理上來

這次是打算把量測領域里面最常見和主流的三大類設備分類和供應商數據整理清楚，給大家一個清楚的參考

上周，我做了一個關鍵尺寸/線寬（Critical Dimention）和套刻精度（Overlay）的量測設備的供應商數據整理。發布之后讀者反響很不錯，也給了我一些修改意見和補充信息

我花了些時間把數據好好修正了一下，再發一版供大家參考

另外，為了讓內容更加豐富，這次也一并把膜厚的量測設備（包含介質層和金屬薄膜兩個不同類型）數據也加上去 -- 這樣一來，三件套就湊齊了

這個數據收集整理不容易，網上其它地方應該是找不到這么詳細的。所以希望能給大家帶來更多參考

注）OCD量測設備的分類各家觀點不同，有的觀點認為IB和DB是針對套刻精度的，OCD一般按照2D、3D來區分比較好。我權衡了一下，暫時還是先保留目前分類方式。后續如果有機會，再把2D/3D應用的信息補充完整。希望大家理解

具體分類名稱的解釋參見下表

正式數據如下

當然，上表中的內容只是我整體數據中的很小一部分。完整的檢測、量測設備供應商、產品數據的完整表格（已經收錄全球105家供應商信息）如下（樣品僅供參考）

如果您對完整數據表格感興趣，歡迎來我知識星球交流。如果只需要這個大表的高清截圖，也可以公眾號后臺私信我，或者和我微信交流

上述完整版檢測量測設備商數據表格的的EXCEL文數據文檔都放到我的知識星球上供會員參考

而這個表格也只是我多年以來積累的行業數據中的非常微小的一部分而已后續各類數據，我都會陸續在知識星球上發布，并保存到網盤供付費用戶長期使用。而且數據會不斷更新和完善

目前已經完成上傳和后續規劃中的數據如下：

免責聲明：本文采摘自“半導體綜研”，本文僅代表作者個人觀點，不代表薩科微及行業觀點，只為轉載與分享，支持保護知識產權，轉載請注明原出處及作者，如有侵權請聯系我們刪除。

量測三件套：線寬、套刻、膜厚 全球設備供應商產品全收錄